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半導體中高純氣體氦沉陽氣體泄漏檢測
* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2020-05-23 0:47:39 * 瀏覽: 25
沉陽高純氣體氦氣在半導體泄漏檢測中的應用。為了防止由于諸如污水蒸汽之類的雜質(zhì)引起的半導體器件,集成電路和其他部件的表面性能下降,必須使用管來密封。然而,由于各種原因,在包裝的密封或引線接頭處經(jīng)常有肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小孔,因此在組件包裝后,需要采取一些方法來檢測這些小孔的存在。氦氣泄漏檢測是利用氦氣檢查電子元件包裝管中的小孔。由于氦原子的尺寸很小,很容易穿過小孔進入管殼內(nèi)部,因此這種檢測方法可以檢測到小尺寸的小孔(即可以檢測到泄漏)大概10倍? 11?10? 12cm3 /秒的小孔),其靈敏度可與放射性泄漏檢測方法媲美,但比放射性泄漏檢測方法簡單。氦氣泄漏檢測測試方法:首先將包裝好的組件放入裝有氦氣的容器中,然后加壓以使氦氣通過小孔進入管子,然后將其取出,然后用壓縮空氣吹掉管子上的殘留氦氣。表面,然后使用質(zhì)譜儀檢測從殼表面泄漏的氦氣。沉陽煤氣
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