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高純氫中微量烴污染的分析與測定方法
* 來源: * 作者: * 發表時間: 2020-05-22 0:44:20 * 瀏覽: 22
高純氫
氣廣泛用于電子工業,石油化工,金屬冶煉,國防前沿和科研等領域。也可用作制備標準氣體的原料氣和色譜用載氣。 。隨著科學技術的飛速發展,科學實驗和工業產品的生產,特別是某些高科技產品,例如超大型集成電路和光電產品,要求嚴格控制氫的純度及其雜質含量,要求將O2,H2O,HTC(總烴),CO,CO2等雜質提純至10-9-10-12,用于有色金屬的冶煉加工,硅鋼,帶鋼的生產,精密合金和浮法玻璃都需要使用純度約為99.999%的氫氣,天然氣工業中的氣體分析和氣體凈化需要純氫氣。目前,工業化生產的大部分工業氫氣都應經過化學處理,以滿足各行各業的需要。氫的純化方法主要包括化學吸收法,催化反應法,選擇性吸附法和膜分離法。測定總烴的方法和原理在氣相色譜分析和檢測過程中,氣相色譜儀對所用氣體的純度有更高的要求。為了滿足工作要求并延長儀器的使用壽命,所用氣體的純度應等于或略高于儀器自身對氣體純度的要求,否則,如果不滿足要求的低純度氣體使用該要求,將導致一系列不利影響。另外,在硅外延期間,氫氣與加熱的硅襯底的表面上的四氯化硅或三氯化硅反應,還原硅并將其沉積在硅襯底上以形成外延層。在上述過程中,氫的純度非常高。如果烴含量太高,則會生成碳化硅,從而在外延層中引起星形缺陷。因此,有必要對高純度氫中所含的總烴進行有針對性的監測。中國國家標準推薦的氣體中總烴的測定方法是叉車火焰電離法,目前大多數實驗室都在使用。此方法的工作原理:樣品進入電離室后,在氫火焰的高溫下被電離以生成陽離子。由于離子數量與被測組分的含量成正比,因此可以通過工作站(或記錄儀)確定并記錄其含量。相應組分的色譜峰。火焰電離檢測器上總碳氫化合物的響應信號是各種碳氫化合物信號的總和。到目前為止,除了食品級二氧化碳的國家標準(該標準規定以甲烷計算總碳氫化合物)外,對于其他氣體中的總碳氫化合物還沒有統一的基準。這里,甲烷也用作參考物質,并且分析結果以甲烷計算。氫氣是易燃的壓縮氣體。存放在陰涼通風的倉庫中。倉庫中的溫度不應超過30℃。遠離火和熱。防止陽光直射。應與氧氣,壓縮空氣,鹵素(氟,氯,溴),氧化劑等分開存放。避免混合存放和運輸。儲藏室的照明,通風和其他設施應防爆。交換機應位于倉庫外部,并配備相應品種和數量的消防設備。禁止使用容易產生火花的機械設備和工具。在驗收期間,請注意產品名稱和瓶子檢查的日期。先使用高級倉庫。在搬運過程中要輕拿輕放,以免損壞鋼瓶和配件。
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