隨著現(xiàn)代微電子工業(yè)的不斷發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)高純度氣體氖的純度要求越來越高，達(dá)到了99.99％。目前，中國的霓虹燈標(biāo)準(zhǔn)只有GB / TT 1787-1999“純霓虹燈”。氖氣的最高純度為99.995％。高純度氖氣沒有國際標(biāo)準(zhǔn)，只有一些大型外國公司，例如美國API和德國Messer都有自己的技術(shù)指標(biāo)。工業(yè)上，液態(tài)氖氣冷凝用于生產(chǎn)高純度氖氣，但氖氣和氦氣的沸點(diǎn)分別非常接近-245.9和-268.9°C。氖氣的沸點(diǎn)低于氮?dú)猓虼水a(chǎn)生的氖氣將包含少量氦氣。由于兩者的物理和化學(xué)性質(zhì)相似，因此已經(jīng)在工業(yè)生產(chǎn)中測(cè)試了工業(yè)中高純度氣體氖中痕量氦的分析。難點(diǎn)。針對(duì)這些問題，需要探索一種新的檢測(cè)方法來測(cè)定氖中的痕量氦[2-7]。在這項(xiàng)研究中，使用氖氣作為氣體，并使用一系列標(biāo)準(zhǔn)氣體作為樣品來繪制回歸曲線。直線截距值是載氣中的氦氣量。高純氣體氖氣實(shí)驗(yàn)儀器和樣品標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)實(shí)驗(yàn)選擇了GC-12氣相色譜儀，上海儀器分析總廠，熱導(dǎo)檢測(cè)器（TCD），色譜工作站，N2000，浙江大學(xué)智能信息工程學(xué)院。色譜柱使用直徑為3mm，長度為3m的5A分子篩和六通進(jìn)樣閥。 Shimadzu的GC-14B和GC-14C氣相色譜儀，N3000色譜工作站。氣體分離的原理是：由于性質(zhì)不同，氣態(tài)物質(zhì)分子在色譜柱分子篩上的吸附-脫附能力也不同。通過在色譜柱上的連續(xù)操作，色譜柱中氣態(tài)分子的移動(dòng)距離逐漸變化。最終彼此分離，TCD檢測(cè)器檢測(cè)到了不同氣體的保留時(shí)間和峰面積。