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液氬是將高純氬氣壓縮成液態氣,儲存于杜瓦罐中

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2021-10-01 2:46:09 * 瀏覽: 105

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高純氫氣供應商靶面發生的二次電子在正交的電磁場作用下沿環形磁場(跑道)作擺線運動,達些電子運動路徑長,增加了與氣體分子磁撞的機會,使氣體的電離概率增大,進而增大了濺射速率磁控靶對磁場的要求是:①要構成封閉的環形跑道(圖10-12);②水平場強要達到2times,10-2Tmdash,5times,10-2T,并能在此范圍內進行調節。圖10-13所示的矩形平面磁控靶,靶面尺寸為120mmtimes,240mm。這種靶的磁體可以用永磁體(例如鍶鐵氧體和鋁鎳鈷),也可以使用電磁鐵。這種結構靶的特點是采用了極靴,并使極靴與靶材直接接觸。圖10-13所示的極靴上布置了六塊鍶鐵氧體。每塊尺寸的長times,寬times,高為80mmtimes,20mmtimes,17mm(ldquo,高為磁化方向)。鍶鐵氧體的磁感應強度3.8times,10-1T,矯頑力為2.1times,105A/m。按照這種布置方案,當靶材厚度為8mm時,靶面的z*大水平場強可達2.9times,10-2T。矩形靶結構簡單,通用性很強,適于大面積鍍膜。。

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