工業氫氣的提純方法和工藝應根據所用工業氫氣中雜質的種類和含量以及生產要求的具體條件確定。同時，應確定凈化劑及其用量，以及凈化設備的大小和數量。在安裝凈化系統時，必須首先考慮凈化器的順序。由于氫純度要求不同，因此在安裝過程中系統必須具有以下要求：1.所用的凈化器必須具有高純度，并且必須同時凈化。效果好，不與氫反應，不消耗氫，處理量大，提純速度快，可連續使用，活化活化方便。 2.凈化劑的安裝應根據凈化劑的凈化能力（從強到弱）以及各種凈化劑的特性和要求來確定。通常，脫氧后應除去水。 3.凈化器通常需要兩套設備，一套用于再生，另一套用于待機。 4.凈化設備應簡單，管線應盡可能短，管線的側面必須密封，凈化設備和管線不得與凈化劑反應。在氫氣提純過程中有很多種獲得氫氣的方法，并且來源非常豐富。提純后，可以將來自各種來源的氫氣用作高純度金屬熔煉（例如通過還原SiCL4或SiHCl3來生產多晶硅和硅外延）。通常將其視為電解氫。純度高，易于純化。常用的純化方法有兩種，一種是催化脫氧和吸附干燥法，另一種是鈀合金擴散法。鈀合金擴散法是國內外比較先進的提純氫的方法。但是，鈀合金膜的設備和材料稀缺，使用鈀合金膜時，氫氣仍需要預先純化。因此，該方法的應用不是很廣泛。催化脫氧吸附干燥法是相對經濟的并且是被廣泛使用的方法。方法。 1.催化脫氧吸附干燥法的工藝流程電解氫rrar，回火rrar，除油器rrar，鎳鉻接觸劑rrar，水冷卻器rrr，冷凍冷卻器rrar（兩套）rrar，粗氫uarr，rrr，Ni-Cr接觸劑rr，水冷rrar，硅膠rrar，硅膠rrar，分子篩rrar，分子篩rrar，粗過濾rrar，精細過濾rrar，純氫2。回火裝置和Ni-Cr接觸劑的作用氫氣和其他氣體燃燒時，通過回火的氣體可以起到緩沖和散熱的作用，因為回火中包含一些散熱材料（例如銅屑和活性銅等材料）以隔離熱量。 Ni-Cr接觸劑通常安裝在凈化器的前面。當氫中的氧通過Ni-Cr接觸劑時，氧被轉化為水，達到脫氧的目的。反應如下：2H2 + O2rarr，（Ni-Cr催化劑80?100℃）2H2O最理想的氫氣純化工藝是去除氫氣中的所有雜質。實際上，很難完全沒有雜質。目前使用的鈀合金的擴散法是一種更先進的方法。鈀合金擴散法的原理鈀膜凈化器將氫傳遞到鈀合金擴散室中。在300-500小時時，氫吸附在鈀壁上，并且在鈀（H2mdash，mdash，2H +）的催化下，氫被離子化成質子，因為鈀的晶格常數為3.88A0（20°C），并且氫的質子半徑為1.5倍，為10-5A0，它們通過鈀表面進入膠囊并逸出，并重組分子。雜質（例如N2，CO2和其他雜質）既不會溶解也不會被離子化，而是以分子狀態保留在鈀合金的另一側，從而從所有氣體雜質中分離出氫氣。氫氣提純的主要原理是se鈀對氫氣的有效選擇和滲透性以凈化氫氣。