物理和化學性質：電子氣體（Electronicgases）：氣體工業術語，半導體工業中使用的氣體統稱為電子氣體。按其類別可分為三類：純氣體，高純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的重要分支。根據純度等級和使用場合，電子氣可以分為電子級，LSI（大型集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路）級和ULSI（超大規模集成電路）級。