沉陽液化天然氣的純SF6氣體通常被認為是無毒的。 SF6在生產過程中會有少量伴隨產品，其中S2F10是公認的劇毒氣體，但純化后可以將其完全去除。盡管純SF6氣體是無毒的，但必須防止工作場所中SF6氣體的濃度升高到缺氧水平。 SF6氣體的密度約為空氣的五倍。如果SF6氣體泄漏，它將沉積在低洼的地方，例如電纜溝。濃度過高可能會導致窒息危險，在設計室內通風設備時應予以考慮。 SF6氣體可以通過對流與空氣混合，但是速度非常慢。氣體混合后，將形成SF6和空氣的混合氣體，并且不會再次分離。嚴重的問題是，SF6在電弧作用??下的分解產物，例如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF都具有很高的腐蝕性和毒性。 SF4（四氟化硫）在室溫下沒有SF4。有色氣體具有類似于SO2的刺激性氣味，會在空氣中產生帶有濕氣的煙霧，從而產生SOF2和HF。 SF4氣體可以被堿液或活性氧化鋁（Al2O3）吸收。 SF4氣體對肺有侵入性作用，并影響呼吸系統。其毒性等同于光氣。 S2F2（氟化硫）在室溫下為無色氣體，有毒，有刺激性氣味。遇水可完全水解成S，SO2和HF。 S2F2對呼吸系統具有類似于光氣的破壞作用。 SF2（二氟化硫），化學性質極不穩定，加熱后性能更活潑，易水解成S，SO2和HF。 SF2氣體可以被堿液或活性氧化鋁吸收。 SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。 SO2F2是一種有毒氣體，可引起痙攣。它的危險是它沒有刺激性氣味，不會刺激鼻粘膜，因此中毒后往往會很快死亡。