隨著現(xiàn)代微電子工業(yè)的不斷發(fā)展，市場對(duì)高純度氣體氖的純度要求也越來越高，達(dá)到99.99％。目前，國內(nèi)霓虹燈標(biāo)準(zhǔn)僅為GB / T 17873-1999“純霓虹燈”，霓虹燈的最高純度為99.995％。世界上沒有高純度氖氣的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，但是一些大型外國公司，例如美國API和德國Messer，都有自己的技術(shù)指標(biāo)。工業(yè)上通過液體氖冷凝法分離出高純度氖氣，但由于氖氣和氦氣的沸點(diǎn)非常接近，它們分別為-245.9和-268.9℃。氖氣的沸點(diǎn)低于氮?dú)猓虼水a(chǎn)生的氖氣將包含痕量的氦。由于兩者的物理和化學(xué)性質(zhì)相似，因此在工業(yè)生產(chǎn)中一直檢測到工業(yè)中高純度氣體氖氣中痕量氦的分析。難。針對(duì)這些問題，需要探索一種新的檢測方法來確定氖中痕量的氦[2-7]。在這項(xiàng)研究中，使用氖氣作為氣體，并使用一系列標(biāo)準(zhǔn)氣體作為回歸曲線的樣本。直線的截距值是載氣中的氦氣量。高純氣體氖氣實(shí)驗(yàn)儀和樣品標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)實(shí)驗(yàn)選擇了GC-122氣相色譜儀，上海儀器分析總廠，導(dǎo)熱系數(shù)檢測器，色譜工作站，N2000，浙江大學(xué)智能信息工程研究所。色譜柱使用直徑為3mm，長度為3m的5A分子篩和六通采樣閥。日本島津的GC-14B和GC-14C氣相色譜儀，N3000色譜工作站。氣體分離的原理是：由于性質(zhì)不同，氣態(tài)物質(zhì)分子在色譜柱分子篩上的吸附和解吸能力也不同。通過在色譜柱上的連續(xù)操作，柱中氣態(tài)分子的移動(dòng)距離緩慢變化。最終彼此分離，通過TCD檢測器檢測了不同氣體的保留時(shí)間和峰面積。