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離子注入氣體(離子注入氣體)

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2020-01-17 1:10:24 * 瀏覽: 29
離子注入氣體(GasesforIonImplantation):離子注入將P +,B +,As +等離子化雜質(zhì)加速到高能態(tài),然后將其注入到預(yù)定的襯底上。離子注入是控制Vth(閾值電壓)的最廣泛使用的方法。可以通過測量離子電流來獲得注入的雜質(zhì)的量。離子注入過程中使用的氣體稱為離子注入氣體,并且存在磷基,硼基和砷基氣體。
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