（1）沉陽液態氣體可燃氣體是指自發，可燃，可燃氣體。例如，室溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒。當環境溫度達到一定水平時，PH3和B2H6等氣體也會自燃。可燃氣體均具有一定的著火和爆炸范圍，即上限和下限。氣體范圍越大，爆炸和燃燒的危險就越大。例如，B2H6的爆炸上限為98％，爆炸下限為0.9％。易燃氣體是H2，NH3，PH3，DCS，ClF3。 （2）有毒氣體：半導體制造業中使用的許多氣體對人體有害和有毒。其中，AsH3，B2H6，PH3等氣體毒性最高，其閾限值TLV（ThresholdLimitedValve）僅為50×10-9、100×10-9、300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極小，因此在存儲，運輸和使用過程中需要特別注意。通常，應采取特定的技術措施來控制這些氣體的使用。 NO，C4F6，C5F8，NF3，CH3F等都是有毒氣體。 （3）腐蝕性氣體：這些腐蝕性氣體通常也具有劇毒。腐蝕性氣體通常在干燥狀態下不易腐蝕金屬，但在水，例如HCl，HF，PCl3，SiF4，ClF3，WF6等存在的情況下，它顯示出強腐蝕性。 （4）惰性氣體（InertGas）：惰性氣體本身一般不會直接傷害人體。在氣體傳輸過程中，安全要求并不比其他氣體嚴格。然而，惰性氣體具有令人窒息的性質。如果在密閉空間中發生泄漏，可能會導致窒息并引起工作事故。屬于此類的氣體為C2F6，CF4，SF6，CHF3等。 （5）氧化氣體（OxideGas）：這種氣體具有很強的氧化性，通常具有毒性或腐蝕性等其他特性。屬于此類的氣體包括ClF3，Cl2，NF3等。不銹鋼管件是用于輸送各種工藝氣體，尤其是一些劇毒，易燃和易爆危險氣體的主要管件。因此，在上述不同材料中，不銹鋼管件的生產和構造要求最為嚴格。一般來說，要輸送P級要求（×10-9）的工藝氣體，需要使用SUS316 EP（電子拋光）管。對于一般的非工藝氣體輸送，使用由SUS316制成的BA（BrightAnneal）管。作為低碳含量的不銹鋼材料，SUS316不僅具有良好的耐腐蝕性能，而且還具有良好的耐蝕性。由于BA管的生產經歷了溶解，軋制（熱/冷軋），焊接（壓延），熱處理（熱處理）和拋光（拋光）等復雜過程，其表面粗糙度Rmax≤4.5mm。除了對EP管進行表面研磨和其他工藝外，還應用了電解研磨和精密清潔技術。其Rmax≤0.7mm[3]。在安裝燃氣管件時，應盡可能連續且無連接地進行施工。這樣可以減少使用的接頭數量，并減少潛在的氣體泄漏風險。配件和配件之間的連接最好通過軌道焊接進行連接。對于不銹鋼焊接，使用氬弧焊，并將純度相同的氬氣送入焊接管中。這樣可以保證連接的質量，并防止由于焊接不當而造成的管道內壁積碳，從而造成燃氣管道的污染。配件與各種配件之間的連接必須采用金屬對金屬的端面密封。 VCR和世偉洛克（Swagelok）是在普通晶圓廠中用于氣體管道連接的兩個常用接頭。具體選擇形式應根據生產過程中對高純氣體的要求和氣體本身的特性來選擇。通常，VCR型接頭主要用于傳輸過程氣體和危險氣體。連接管道后，接頭處的墊圈將變形，以確保管道每秒泄漏的氦氣少于10-9cc。比率（LeakageRate）[4]。但是，當連接時，應避免由于擰得太緊而導致不銹鋼墊圈過度變形，從而導致連接不良或氣體泄漏。世偉洛克接頭通常用于傳輸惰性氣體，氮氣和CDA。由于這些氣體可以承受一定的泄漏率，因此通常不使用昂貴且需要焊接的VCR型接頭。通常，管道配件的安裝原理是盡可能減少管道配件的長度，盡可能減少接頭和閥門的數量，因為大多數危險氣體的泄漏發生在不合適的接頭和閥門的接頭處。危險氣體的特殊事項作為半導體晶圓鑄造氣體的使用者，每個工人在使用前應了解各種危險氣體的安全數據，并應知道當這些氣體泄漏時如何應對緊急情況。程序。通常，我們將提供三重保證，以防止危險氣體意外釋放到工作環境中。一個是特殊氣體的氣瓶，所有通過正負壓泄漏檢測的輸氣管道，第二個是連續排氣排氣系統（Exhaust），氣瓶柜，VMB和工作臺等管路節點都是具有強大的排氣系統，可確保每個管節點的外圍處于負壓環境中。如果有少量的有毒氣體泄漏，排氣系統將在第一時間抽出，另一個非常重要的是在排氣口或環境點處的有毒氣體檢測系統，如果發生有毒氣體泄漏，氣體將被排出。由檢測系統檢測到，此控制系統將根據氣體泄漏對人體造成的危害程度，確定整個氣體輸送系統的相關聯鎖動作。在嚴重情況下，所有上游氣源將被緊急關閉，中央控制室和現場將被開動。相關的警報系統LAU甚至會驅動整個工廠的自動語音廣播系統，以通知立即疏散，要求相關人員人員迅速撤離報警區域。因此，只要工程技術人員嚴格按照既定的標準操作程序進行操作，所有這些安全裝置都將確保人員沒有安全隱患。沉陽液化氣